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MX61L半導(dǎo)體檢查顯微鏡———慧龍環(huán)科010-59483667
MX61L半導(dǎo)體檢查顯微鏡能對(duì)應(yīng)300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動(dòng)型號(hào)（反射透射兼用）
應(yīng)對(duì)明視場(chǎng)觀察到熒光觀察的多種觀察方法。MX61L半導(dǎo)體檢查顯微鏡切換物鏡時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)連動(dòng)的亮度光圈等，實(shí)現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺(tái)，能應(yīng)對(duì)大型樣本。
MX61L半導(dǎo)體檢查顯微鏡詳細(xì)參數(shù):
光學(xué)系統(tǒng)
UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無(wú)限遠(yuǎn)校正）
機(jī)身
觀察方法
明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光
反射/透射
照明裝置
機(jī)身一體型（明視場(chǎng)，暗視場(chǎng)＋1選件）
照明系統(tǒng)
反射照明
100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明
纖維光導(dǎo)
對(duì)焦單元
電動(dòng)/手動(dòng)
手動(dòng)
行程
32 mm
分辨率/微調(diào)靈敏度
微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm
大樣本高度
30 mm
物鏡轉(zhuǎn)換器
電動(dòng)型
明視場(chǎng)微分干涉6孔 明暗視場(chǎng)微分干涉5孔 明暗視場(chǎng)微分干涉6孔 明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔
手動(dòng)式
-
載物臺(tái)
8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范圍189×189 mm） 6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm
觀察筒
廣角視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)22）
倒置
雙目/三目觀察筒
正像
三目觀察筒
超寬視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)26.5）
傾斜三目觀察筒
附件單元
DUV單元/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載
外形尺寸
509（W）×843（D）×507（H）mm（標(biāo)準(zhǔn)組合）
重量
40 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合）
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